Home

GOSSAMER - Overview


Das Institut für Elektronische Bauelemente und Schaltungstechnik ist einer der Partner im internationalen EU-Projekt GOSSAMER (Fördersumme: 13,1 Mio Euro). Am Projekt sind neben industriellen Partnern (insbesondere Qimonda und Numonyx) auch Forschungsinstitute (IMEC, Fraunhofergesellschaft) und weitere europäische Hochschulen beteiligt.
Dieses Projekt hat zum Ziel, nicht-flüchtige Speicher bis zu Gatelängen von etwa 20 nm zu entwickeln, um sie als Massenspeicher zu verwenden. Dieser Bereich erfährt steigendes Interesse aufgrund der rasch anwachsenden Zahl von portablen Multimedia-Anwendungen. Die in diesem Bereich vorherrschende Technologie beruht auf dem Floating-Gate-NAND-Speicher. Technologische Hürden wie die Fluktuation der gespeicherten Ladung und elektrostatische Störungen zwischen benachbarten Zellen begrenzen jedoch eine Skalierung jenseits von 32 nm.
Als denkbare Alternative zum Floating-Gate wird der Ladungseinfang (Trapping) in dielektrischen Schichten angesehen, welche durch SONOS- und TANOS-Speicherzellen realisiert werden.



sonos

Querschnitt einer SONOS-Speicherzelle


Die Hauptaufgabe des Projekts ist die Einbindung unterschiedlicher neuer Materialien für die verschiedenen Schichten (Dielektrikum im Bottom- und Topoxid, Trappingschicht, Metallgate bei der Zieltechnologie) und das Erreichen eines akzeptablen Kompromisses zwischen Funktionalität und Verwirklichbarkeit.
Das Projekt deckt einen Bereich von der Materialentwicklung über die Zellarchitektur bis zur Modellierung von Materialeigenschaften, dem Trapping und dem Leitungsverhalten in den Dielektrika und in den unterschiedlichen Metallgatematerialien ab. Im Rahmen des GOSSAMER-Projektes erforscht das Institut für Elektronische Bauelemente und Schaltungstechnik die Speicherung, Löschung und die Retention (Ladungshaltung) von SONOS- und TANOS-Speicherzellen theoretisch. Dabei besteht eine enge Zusammenarbeit mit dem Institut für Elektronik- und Sensormaterialien der Technischen Universität Bergakademie Freiberg und mit Qimonda Dresden. Durch diese enge Zusammenarbeit besteht die Möglichkeit, die Simulationsergebnisse direkt mit den experimentellen Daten zu vergleichen.